• 磷烷

     产品名称:磷烷
    产品型号:
    产品类型:Ph3
    详细介绍
    纯度: 99.999%、 99.9998%、 99.9999%
     
    在电子气家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源,同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。 PH3 ,易燃、易爆、剧毒,其毒性 数为:PEL/TLV 0.3×10, STEL 1×10,LC5020×1O,ZDLH 200×10,属剧毒危害品。

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